扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)作为一款高效的显微成像工具,凭借制样简单、适用性强等特点成为应用最广泛的一类仪器。SEM成像原理是用聚焦的高能电子束扫描样品表面,产生各种特征信号,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像或其它信息。与其他仪器相比,SEM具备分辨率高、图像景深大,富有立体感、试样制备简单、可同步进行试样微区元素分析和组织分析等特点,在各个领域都有广泛的应用。
目前,中心拥有一台高分辨场发射扫描电子显微镜ZEISS GenminiSEM360,已对外开放共享,价格优惠,欢迎广大科研人员使用或咨询。
参数指标
二次电子分辨率:1.2nm@1kV, 0.7nm@15kV
放大倍率:12-2,000,000倍
加速电压:20V-30kV
样品仓室:360mm(直径) ×270mm(高)
样品台行程:X/Y=130mm,Z=50mm,R=360°,T=-4° - +70°
单张图片最大存储分辨率:32k × 24k
大面积能谱:AZtecLive Ultim-Max 40
案例展示
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